重結晶碳化硅也稱作再結晶碳化硅,它以高純超細碳化硅為原料,碳化硅在2400℃高溫及一定壓力的氣氛保護下,發生蒸發 - 凝聚再結晶作用,在顆粒接觸處發生顆粒共生形成的燒結體。其基本
性能指標(R-SIC PARAMETER) | ||
Item 項目 | Unit 單位 | RSiC Index 指標 |
Bulk density體積密度 | g/cm³ | 2.7 |
Porosity氣孔率 | % | 17 |
Compression strenght耐壓強度 | Mpa | 500-700 |
Bending strenght(4points) 抗折強度 |
Mpa(at20°C) Mpa(at1200°C) |
90 120 |
Young’s modulus 楊氏模量 |
Gpa(at20°C) | 250 |
Thermal conductivity導熱系數 | W/MK | 23 |
Thermal expansion熱膨脹系數 | 10-6K-1 | 4.7 |
Max Workng Temperature 最高安全工作溫度(氧化氣氛) |
°C |
1650 (under oxgen atmosphere) |
SiC 碳化硅 | % | >98 |